KHK6100E半導(dǎo)體行業(yè)超高純(特種)氣體稀釋系統(tǒng)，是一款具有高精度高稀釋比的升級(jí)產(chǎn)品，可配制五種標(biāo)氣的混合氣(可定制),稀釋比可達(dá)到1:10000，二級(jí)稀釋，高精度，帶有加濕功能，可用于傳感器生產(chǎn)商，半導(dǎo)體生產(chǎn)商的產(chǎn)品測(cè)試及科研院所的科學(xué)研究。可根據(jù)用戶要求定制。

    特點(diǎn)：

    苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他;

    帶有加濕功能，可控制稀釋后氣體濕度

    高精度質(zhì)量流量計(jì)（MFC），配制氣體濃度精準(zhǔn)

    可選配液體標(biāo)樣稀釋模塊

    功能：
    1、單一/混合氣體配制
    通過質(zhì)量流量控制器（MFC）順序連接兩種或多種標(biāo)準(zhǔn)氣體，如順序稀釋或產(chǎn)生混合氣體。可以單獨(dú)稀釋多種標(biāo)準(zhǔn)氣體，也可以通過同時(shí)稀釋多種的標(biāo)準(zhǔn)氣體來產(chǎn)生混合氣體。
    2、蘇瑪罐罐沖
    該系統(tǒng)配備了壓力傳感器，以精確的壓力將稀釋氣體引入罐中。
    3、控制溫度和濕度
    自動(dòng)調(diào)節(jié)溫度和濕度，在各種條件下連續(xù)產(chǎn)生氣體。
    4、液體標(biāo)樣氣化稀釋
    可選配液體標(biāo)樣稀釋模塊
    5、顆粒物發(fā)生裝置
    可選配顆粒物發(fā)生裝置，模擬各種工況
    以上功能均可根據(jù)客戶實(shí)際需求組合定制。

    應(yīng)用：

    傳感器生產(chǎn)商

    半導(dǎo)體生產(chǎn)商

    科研院所

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■可配置液體或氣體樣品；

■可實(shí)現(xiàn)標(biāo)樣加濕功能；

■兩級(jí)高精度MFC控制；

■稀釋比高；

■全自動(dòng)運(yùn)行，直接讀取濃度，ppm，ppb或ppt；

■可針對(duì)不同用戶的稀釋要求定制產(chǎn)品。